一. 真空室：
1. 真空室：內(nèi)腔尺寸Ф2800mm×3000mm，單層304不銹鋼
2. 真空室：內(nèi)腔尺寸Ф2400mm×3000mm，單層304不銹鋼
3. 真空室：內(nèi)腔尺寸Ф2000mm×2000mm，單層304不銹鋼
二. 真空抽氣系統(tǒng)
1. 漏率：＜1.3×10-10Pam3/s
2. 極限真空達(dá)到5×10-4Pa
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